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成果發布
Technology
【技術領域】新材料
【技術發布單位】國科遂寧科技成果轉化中心
【技術概述】如導電薄膜、鐵電/介電薄膜、磁性薄膜、光學薄膜及其他復合功能性薄膜,是電存儲器、微電子信息、精密光學等儀器的重要組成部分,有著廣泛的應用。
【技術指標】鐵電薄膜為例:(BiFeO3,Bi4Ti3O12,(Ba,Sr)TiO3)(1)大尺寸(可達1英寸);(2)鐵電極化強度大于50uC/cm2;(3)化學溶液法可實現功能薄膜多品種、大尺寸、低成本批量制備。其他可制備的功能薄膜有:(1)導電薄膜:LaNiO3,(La,Sr)MnO3(微結構和性能可調);(2)磁性薄膜:CoFe2O4,SrFe12O19/BaFe12O19,(La,Sr)MnO3(微結構和性能可調);AMoO4(光致發光);(3)光學薄膜:ZnO,BaSnO3,(La,Sr)TiO3(透明導電可調);(4)其它功能薄膜:CeO2(固體氧化物燃料電池、微結構可調),層狀鈷基氧化物薄膜(熱電性能可調),Ga2O3(紫外探測器件)。
【技術狀態】成熟待產業化
【適用范圍】電存儲器、微電子信息、精密光學等儀器。
【市場前景及經濟效益分析】部分多功能薄膜已經提供給哈佛大學、斯坦福大學和麻省理工學院/清華大學、北京大學等國內外大學及美國、日本等國外知名企業。
【合作方式】成果轉讓、技術入股
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2015-08-26
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